وحدة مناولة هواء لغرفة نظيفة

تخلط وحدة مناولة الهواء جزءًا من الهواء الخارجي مع هواء راجع من الغرفة النظيفة في صندوق الخلط، ثم يمر الخليط على فلتر أولي وفلتر أكياس لحجز الغبار. بعدها يبرده ملف ماء مثلج فيتكثف بعض بخاره ويُزال الماء من صينية التصريف، ثم يعيد ملف التسخين ضبط درجة الحرارة، ويضيف المرطب البخاري رطوبة نظيفة عند الحاجة. تدفع مروحة الإمداد ذات المحرك المتغير السرعة الهواء عبر مخمد الصوت ومجاري الهواء إلى فلاتر HEPA النهائية في السقف التي تحجز 99.97 بالمئة من الجسيمات بحجم 0.3 ميكرون أو أكثر. ينساب الهواء النظيف نحو الأرض ويعود من فتحات منخفضة في الجدران، ويُحافظ على ضغط أعلى من الممر بنحو 10 إلى 15 باسكال كي لا يدخل الهواء الملوث، ويراقبه جهاز ضغط تفاضلي.